پدهای پولیش لوازم جانبی کلیدی هستند که کیفیت سطح ویفرها را در فرآیند پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) تعیین می کنند. آنها عمدتاً از موادی مانند فوم پلی یورتان تشکیل شده اند که دارای ساختار متخلخل و مقاومت در برابر سایش بالا هستند. عملکردهای اصلی آن شامل انتقال یکنواخت فشار، ذخیره مایع پولیش و حذف بقایای واکنش است. با تنظیم سختی، می توان به ترتیب یکنواختی در قالب (WID) و در{4}}یکنواختی تراشه ویفر را بهینه کرد. طراحی الگوی شیار مستقیماً بر راندمان توزیع مایع پولیش تأثیر می گذارد. شیار شعاعی سرعت حذف مواد را بهبود می بخشد، در حالی که شیار حلقه ای سطح را بهینه می کند.
عملکرد پد پولیش توسط 7 نشانگر اصلی تعیین می شود:
1. تراکم: بر درجه تغییر شکل تأثیر می گذارد
2. سختی: راندمان سنگ زنی را تنظیم می کند
3. ضخامت: یکنواختی فشار را تعیین می کند
4. الگوی شیار: بهینه سازی توزیع مایع
5. پارامترهای شیار: عرض / عمق بر ظرفیت ذخیره سازی تاثیر می گذارد
6. مشخصات قطر بیرونی: باید با اندازه تجهیزات تطبیق داده شود
ترکیب و ساختار پد پولیش پلی اورتان
پدهای پولیش پلی اورتان معمولاً از پلی یورتان با کارایی بالا-به عنوان ماده اصلی استفاده می کنند. پلی یورتان نوعی پلیمر مولکولی بالا با خاصیت ارتجاعی، مقاومت در برابر سایش و پایداری شیمیایی است.
ساختار آن به طور کلی شامل یک لایه پرداخت و یک لایه پشتی است. لایه پرداخت مستقیماً با مواد جلا داده شده در تماس است و برای دستیابی به اثر پرداخت کارآمد باید سختی، زبری و ویژگی های تخلخل مناسبی داشته باشد. لایه پشتی عمدتا نقش حمایت و تثبیت لایه پولیش را ایفا می کند، در حالی که به انتقال فشار پرداخت و حفظ ثبات کلی پد پولیش کمک می کند.
ویژگی های عملکرد پدهای پولیش پلی اورتان
الاستیسیته بالا: می تواند بهتر با سطح شی جلا داده شود و حتی سطوح منحنی پیچیده را می توان به طور یکنواخت جلا داد و فشار موضعی را که در طول فرآیند پرداخت CMP خیلی بزرگ یا خیلی کوچک است کاهش می دهد و در نتیجه کیفیت پرداخت را بهبود می بخشد.
مقاومت در برابر سایش بالا: در طول{0}}فرایند پولیش درازمدت، می‌تواند شکل و عملکرد خود را حفظ کند و پوشیدن آن آسان نیست، که عمر مفید پد پولیش را افزایش می‌دهد و هزینه استفاده را کاهش می‌دهد.
مسطح بودن بالا: می تواند صافی سطح صیقلی را تضمین کند، که برای پردازش اجزای نوری با دقت بالا-، تراشه های نیمه هادی و غیره ضروری است و می تواند الزامات دقیق برای دقت سطح را در این زمینه ها برآورده کند.
پایداری بالا: در شرایط مختلف محیطی (مانند تغییرات دما و رطوبت و غیره)، پد پولیش پلی اورتان همچنان می تواند ثبات عملکرد خود را حفظ کند و از ثبات اثر پرداخت اطمینان حاصل کند.